Специальное газовое оборудование обычно используется в полупроводниковой фотоэлектронике

Описание продукта:
Специальный газовозный шкаф предназначен для подачи горючих и взрывоопасных, коррозионных, токсичных и других опасных газов и системы подачи, в соответствии с категорией может быть разделена на:полностью автоматический, полуавтоматическая и ручная работа. automatic switching and automatic safety cut-off in case of emergency (when the set alarm signal is triggered) The fully automatic gas cabinet realizes the safe and effective operation of the equipment by adopting the PLC control and touch screen as the man-machine interface, а также с помощью установленных на оборудовании датчиков давления, пневматических клапанов, счетчиков перетока и т.д.Внутренний ПЛК, запрограммированный на безопасную и эффективную работу оборудования, предназначен для подачи опасных газов, таких как горючие, взрывоопасные, коррозионные и токсичные. Its internal PLC programmed safety interlock function and the reasonable selection and layout of high purity valves not only satisfy the requirements of continuous supply of special gases and high purity in the production process of semiconductor process, но также обеспечивают нормальное производство на заводе и личную безопасность работников.

Газы: легковоспламеняющиеся, коррозионные, токсичные газы, такие как SiH4, NF3, NH3, N2O, HCI и т.д.

Особенности:

В зависимости от конкретной конструкции ситуации клиента, в газовую шкатулку может быть интегрировано следующее оборудование безопасности:
1 Газовой шкаф имеет дверь с механическим замком, которая закрывается самостоятельно.
2 Газовый шкаф должен быть оборудован головкой распылителя, если только вода в газовом шкафу не реагирует с газом внутри шкафа.
3 Сигналы тревоги и отключения предупреждают оператора звуковыми и визуальными сигналами, а также на экране контроллера.сигнализация отключения закрывает пневматический клапан и заканчивает программу контроллера.
4 Установлен переключатель перетока, чтобы предупредить оператора в случае чрезмерного потока газа внизу от газа.
5 Для контроля над надлежащей вентиляцией шкафа устанавливается монитор выхлопных газов.
⑥ A diaphragm coupled pressure reducing valve is selected to automatically close the pressure reducing valve if the gas downstream pressure is higher than the pressure reducing valve set pressure because the diaphragm of the pressure reducing valve is mechanically coupled to the valve stemОбратите внимание, что сиденье клапана понижающего давление может протекать, если оно повреждено, коррозионно или загрязнено.
⑦ A flow-restricting orifice fitting installed in the cylinder valve or cylinder connector greatly reduces the increase in gas flow caused when downstream equipment fails (supplied by the gas supplier).
8 Для систем самопроизвольного сгорания газов требуется УФ/инфракрасный детектор.
9 Для горючих газовых систем требуется переключатель температуры.
10 Ручная работа отключается при сигнализации об отключении.
Кнопка аварийной остановки расположена на панели управления.

Технические параметры:

Применение:

Применимые отрасли: полупроводниковые, ТФТ, Sun Solar, LED и другие.

Часто задаваемые вопросы

Вопрос: Что такое специальный газовый шкаф?
Специальный газовый шкаф - это своеобразное оборудование для хранения и доставки специальных газов, которое обычно используется в полупроводниковой, фотоэлектрической, электронной и других отраслях промышленности.Он может безопасно управлять и точно контролировать специальные газы для обеспечения качества и стабильности поставок газов.

Вопрос: Какие виды специальных газовых шкафов доступны?
Существуют в основном ручные, полуавтоматические и полностью автоматические специальные газовые шкафы.
 

Вопрос: На что следует обратить внимание при установке специального газового шкафа?
Место установки должно быть выбрано в хорошо проветриваемом, сухом месте без источника огня.
Обеспечивать стабильность оборудования во время установки, избегать наклона или потрясения.
Соединительные трубы должны быть изготовлены из материалов, соответствующих требованиям, и убедитесь, что они прочно соединены и не имеют утечки.

Вопрос: Как правильно использовать специальный газовый шкаф?
Перед использованием следует внимательно ознакомиться с руководством по эксплуатации оборудования для понимания его характеристик и методов работы.
Проводить транспортировку и управление газом в соответствии с установленными процедурами работы, чтобы избежать неисправности.
Регулярно проверяйте и обслуживайте оборудование, чтобы обеспечить его нормальную работу.

Вопрос: Как обеспечить безопасную работу специального газового шкафа?
Установка устройств обнаружения утечки газа для обнаружения утечки и своевременное принятие мер.
Обучайте операторов повышать осведомленность о безопасности и навыки эксплуатации.
Регулярная проверка и техническое обслуживание оборудования для обеспечения его безопасного функционирования.

Вопрос: Какие работы по техническому обслуживанию требуются для специального газового шкафа?
Регулярно проверяйте уплотнение оборудования, чтобы избежать утечки.
Очищайте поверхность оборудования, чтобы оно было чистым и гигиеничным.
Проверьте изношенность клапанов, труб и других деталей и вовремя замените поврежденные части.

Вопрос: Каков цикл обслуживания специального газового шкафа?
Цикл технического обслуживания в зависимости от частоты использования оборудования и условий окружающей среды, обычно рекомендуется каждые шесть месяцев до одного года для комплексного обслуживания.

Вопрос: Что делать, если газовый шкаф не работает?
Сначала прекратите использовать оборудование и отключите подачу газа.
Проверьте явление сбоя и определите причину сбоя.
Принимать соответствующие меры по устранению неполадок в зависимости от причины отказа, например, заменять поврежденные детали, исправлять электрические неисправности и т.д.