WOFLY представила высокобезопасное силоновое клапановое многоуровневое устройство (VMB) для развития производства полупроводников и фотоэлектрической энергии

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), ведущий поставщик систем доставки газа с высокой чистотой, официально запустил свою специализированную коробку с многослойным клапаном Silane Valve Manifold Box (VMB).Специально разработанные для распределения опасных специальных газов, эта новая система обеспечивает двойную гарантию безопасности и точности для критически важных процессов в полупроводниковой, фотоэлектрической и оптоэлектронической промышленности.

Силан (SiH4) является краеугольным камнем современного производства электроники, но представляет собой чрезвычайные риски из-за его пирофорического и взрывного характера.Новая серия VMB от WOFLY® решает эти проблемы с помощью сочетания структурных инноваций и интеллектуальных средств управления безопасностью.

Расширенное распределение и независимый контроль

WOFLY VMB предназначен для разделения одного источника газа вверх по течению на несколько независимых распределительных ветвей, одновременно поставляя газ нескольким процессуальным инструментам.Каждая ветвь оснащена независимыми клапанами отключения и устройствами контроля давления, что позволяет проводить изолированное техническое обслуживание и устранение неполадок без прерывания работы других производственных линий.

Основные характеристики безопасности и техническое совершенство

1Инертная система очистки и вытеснения

Оснащенные встроенными высокочистыми водородными (PN2) линиями очистки и вакуума, обеспечивающими тщательное удаление остатков силана перед ремонтом или заменой оборудования.строго соблюдая нормы безопасности для предотвращения самопроизвольного сгорания при контакте с воздухом.

2Мониторинг в режиме реального времени

Интегрированные высокоточные датчики давления и датчики обеспечивают реакцию на уровне миллисекунд.немедленная изоляция при обнаружении аномалий давления или утечек.

3Ограждение с отрицательным давлением

Полностью закрытый шкаф из нержавеющей стали 316L поддерживает стабильное отрицательное давление.устранение рисков для окружающей среды мастерской.

4. Электронная чистота

Все влажные компоненты изготовлены из нержавеющей стали класса SS316L EP (электрополированной).среда, свободная от частиц, с скоростью утечки гелия ≤ 1×10−9 atm·cc/s, сохраняя целостность высокочистого газа.

Широкое применение в промышленности

Универсальность и надежность конструкции WOFLY Silane VMB делают ее стандартной конфигурацией для:

- Полупроводниковый вафли Fab:Необходимо для тонкопленочных отложений, таких как PECVD, LPCVD и ALD.

- Производство фотоэлектрических элементов:Широко используется в высокоэффективных клеточных линиях, таких как TOPCon и HJT для отложения пленки на основе кремния.

- Усовершенствованное производство дисплеев:Поддержка производства TFT-LCD, AMOLED и Mini/Micro LED.

- Исследования и лаборатории:Предоставление мелкомасштабного, точного распределения для исследований и разработок материалов и проверки процессов.

"Безопасность и чистота не подлежат обсуждению в обработке специальных газов, - сказал технический директор WOFLY. - Наш новый Silane VMB - это не просто распределительная коробка;Это всеобъемлющий щит безопасности, который позволяет нашим клиентам масштабировать производство с абсолютной уверенностью.. "

Для получения более подробной информации о Silane VMB или для изучения нашего полного спектра решений по обработке газа, пожалуйста, посетите наш сайт по адресуwww.szwofly.comили свяжитесь с нами по адресу info@szwofly.com.

О WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) является специализированным производителем и инженерной фирмой, специализирующейся на высокочистых системах доставки газа.WOFLY обслуживает мировую высокотехнологичную промышленность с высокоточными регуляторами, VMB, газовые шкафы и интегрированные трубопроводные решения.