Wofly Technology VMB клапан многоуровневой распределительный ящик для применения в Силане

Распределительная коробка клапанов VMB для силанов

Двойная гарантия безопасности и точности при распределении специальных газов высокого риска

01 Основные функции

Одноточечное многоканальное распределение, независимое управление ветвями

Оборудование может разделять один источник подачи силанового газа из вышестоящего шкафа специальных газов на несколько независимых линий подачи, одновременно подавая газ на несколько технологических установок, и поддерживает настройку количества ветвей по мере необходимости. Каждая ветвь оснащена независимым запорным клапаном и блоком контроля давления, что позволяет отдельно управлять потоком газа и отключать его для обслуживания. Обслуживание одной ветви не влияет на нормальную подачу газа в другие ветви, минимизируя риск простоя производственной линии.

Инертизация и вакуумная замена для обеспечения эксплуатационной безопасности

Система оснащена встроенными линиями продувки азотом высокой чистоты (PN₂) и линиями вакуумной откачки. Перед обслуживанием ветви, запуском или остановкой оборудования, а также перед разборкой и сборкой трубопроводов, целевой трубопровод может пройти полный цикл инертизации и вакуумной замены, тщательно удаляя остатки силанового газа из линий и предотвращая самовозгорание, вызванное контактом силана с воздухом после открытия клапана. Это полностью соответствует требованиям безопасности эксплуатации систем силанов, изложенным в Инженерных технических стандартах для систем специальных газов.

Трубопроводы из нержавеющей стали марки 316LEP

Мониторинг давления в реальном времени и оповещения о блокировке при аномальных условиях

Каждая линия ветви оснащена высокоточными манометрами и датчиками давления, которые отображают условия давления в реальном времени на входе и выходе, а также поддерживают настройку сигнализации верхнего и нижнего пределов давления. В сочетании с пневматическими клапанами аварийного отключения система может быстро перекрывать соответствующую ветвь или даже основную подачу газа при обнаружении таких рисков, как аномальное давление или утечка газа. Система активирует звуковые и визуальные сигналы тревоги и интегрируется с центральной системой управления завода для обеспечения миллисекундного аварийного реагирования.

Герметичная защита от отрицательного давления, централизованный контроль утечек

Система использует полностью закрытую конструкцию шкафа с верхним вытяжным отверстием и нижним вентиляционным отверстием для поддержания стабильного отрицательного давления внутри шкафа во время работы. Даже в случае незначительной утечки силановый газ остается внутри шкафа и централизованно отводится через вытяжную систему к установке очистки отходящих газов, предотвращая распространение утечки газа в производственный цех и устраняя риски самовозгорания и отравления на пространственном уровне.

02 Основные особенности

Конструкция безопасности, специально разработанная для газов высокого риска

Система, специально оптимизированная для свойств самовоспламенения и взрывоопасности силанов, может быть оснащена встроенными детекторами силанового газа и устройствами обнаружения пламени. Все электрические компоненты соответствуют взрывозащищенным спецификациям, а многоуровневый механизм блокировки безопасности полностью соответствует стандартам управления для специальных газов высокого риска, значительно превосходя уровень безопасности стандартных VMB для инертных газов.

Подача высокочистого газа электронного класса

Все проточные компоненты изготовлены из нержавеющей стали марки SS316L EP с электролитически полированными внутренними поверхностями. Трубопроводы изготавливаются с использованием полностью автоматизированного процесса сварки на рельсах, что исключает наличие мертвых зон и выделение частиц. Клапаны проходят испытания на герметичность гелием со скоростью утечки ≤ 1×10⁻⁹ атм·см³/с, гарантируя, что чистота силанового газа остается неизменной на протяжении всего процесса и соответствует требованиям высокоточных производственных процессов.

Напольная конструкция обеспечивает превосходную адаптивность

Напольная конструкция кронштейна обеспечивает большую несущую способность и исключает необходимость настенного монтажа. Ее можно гибко размещать в различных местах, например, вокруг чистых помещений или вдоль коридоров для специальных газов, что делает ее более адаптируемой к сложным планировкам производственных линий по сравнению с настенными VMB.

                                                                                                                                                                                                          Внутренние клапаны VMB / Мембранные клапаны / Манометры

03 Основные сценарии применения

Производство полупроводниковых пластин

Совместимая с процессами осаждения тонких пленок, такими как PECVD, LPCVD и ALD, в производственных линиях пластин, эта система точно распределяет силановый газ на несколько устройств нанесения покрытий, обеспечивая стабильность процесса осаждения пленок нитрида кремния и оксида кремния. Она также соответствует требованиям безопасности для газов высокого риска в чистых помещениях, что делает ее стандартной конфигурацией для вторичного распределения специальных газов на заводах по производству пластин.

Производство фотоэлектрических элементов

Широко используется в высокоэффективных производственных линиях ячеек, таких как TOPCon, HJT и гетеропереходных, эта система обеспечивает распределение силанового газа на несколько машин во время процессов осаждения и легирования тонких пленок на основе кремния. Она удовлетворяет потребности в непрерывной подаче газа на высокопроизводительных фотоэлектрических производственных линиях, обеспечивая при этом гибкость для модернизации и расширения линий, тем самым помогая снизить затраты и повысить эффективность.

                                                                         - VMB -

Производство дисплеев и оптоэлектроники нового поколения

Обслуживая производственные линии дисплейных панелей TFT-LCD, AMOLED и Mini/Micro LED, а также такие области, как заготовки для оптического волокна и композитные полупроводники, мы обеспечиваем стабильную и контролируемую подачу и доставку силанов для процессов осаждения тонких пленок и травления, адаптированную к крупномасштабным, многомашинным схемам подачи газа на производственных линиях высокого поколения.

Научно-исследовательские институты и испытательные лаборатории

Предоставляет маломасштабные решения для распределения силанов для платформ исследований и разработок материалов и валидации процессов в университетских лабораториях и научно-исследовательских учреждениях, балансируя эксплуатационную безопасность с точностью подачи газа для удовлетворения потребностей в экспериментальных газовых применениях малых партий и различных условий.

Преимущества продуктов и услуг технологии Являясь «конечным узлом» электронных систем специальных газов, VMB для силанов является критически важным компонентом, обеспечивающим безопасную, стабильную и высокочистую подачу газа на производственные линии. Wofly Technology будет продолжать уделять приоритетное внимание технологиям, итеративно оптимизируя свои продукты для различных условий эксплуатации специальных газов высокого риска, чтобы предоставлять высокотехнологичной обрабатывающей промышленности более надежные и адаптированные решения для систем специальных газов.1. Собственные исследования и разработки и производство с выдающимися возможностями индивидуальной настройки

Являясь высокотехнологичным предприятием национального уровня и предприятием «Специализированное, утонченное, отличительное и инновационное», Wofly Technology обладает независимыми возможностями исследований, разработок и производства. Компания создала собственную производственную базу площадью 8 000 квадратных метров, оснащенную сборочными цехами класса 100 и класса 1 000. Весь производственный процесс для всей серии продуктов VMB — от проектирования решений и сборки клапанов до тестирования и отгрузки — осуществляется собственными силами. Продукты могут быть полностью настроены в соответствии с конкретными требованиями заказчика относительно количества газовых выходов, параметров давления, режимов управления и сценариев установки, удовлетворяя потребности производственных линий в различных отраслях и различных масштабах.

                              Внутренний вид VMB, разработанного специально для силанов

2. Полная квалификация и гарантированное соответствие

Компания имеет квалификацию специализированного подрядчика для проектов монтажа строительных механических и электрических систем, квалификацию GC2 для проектирования и монтажа трубопроводов под давлением, а также разрешение на работу. Наша продукция получила множество сертификатов, включая CE и ISO 9001. Проектирование и производство строго соответствуют национальным стандартам для инжиниринга специальных газов, таким как GB 50646. Все оборудование проходит комплексные испытания на герметичность гелием и функциональные испытания перед отгрузкой с завода, гарантируя его готовность к соответствию эксплуатации при доставке.

                              Экскурсия по чистому помещению класса 1 000 технологии

WoflyЯвляясь «конечным узлом» электронных систем специальных газов, VMB для силанов является критически важным компонентом, обеспечивающим безопасную, стабильную и высокочистую подачу газа на производственные линии. Wofly Technology будет продолжать уделять приоритетное внимание технологиям, итеративно оптимизируя свои продукты для различных условий эксплуатации специальных газов высокого риска, чтобы предоставлять высокотехнологичной обрабатывающей промышленности более надежные и адаптированные решения для систем специальных газов.Выходя за рамки простой поставки отдельных единиц оборудования, Wofly Technology предоставляет комплексное, комплексное решение, охватывающее весь процесс — от планирования станции специальных газов, монтажа магистральных трубопроводов, компоновки узлов распределения VMB до вторичных трубопроводов на конечной точке. Это решение охватывает полный жизненный цикл, включая технические консультации, проектирование системы, предварительное изготовление и монтаж, тестирование и приемку, а также обучение эксплуатации и техническому обслуживанию. Клиентам не нужно координировать работу с несколькими поставщиками, что значительно снижает затраты на коммуникацию и управление проектами.

                                                                                                                Внутренний вид VMB, разработанного специально для силанов

4. Более десяти лет отраслевого опыта и обширный опыт внедрения

Обладая более чем десятилетним глубоким опытом в области специальных газов для электронной промышленности, наши услуги охватывают множество секторов, включая полупроводники, фотовольтаику, биофармацевтику и научно-исследовательские институты. Мы успешно реализовали сотни проектов по инжинирингу систем специальных газов. Наша основная команда обладает обширным опытом в проектировании и строительстве систем специальных газов высокого риска, что позволяет нам быстро реагировать на потребности клиентов и предоставлять оптимальные решения, адаптированные к фактическим условиям эксплуатации.

Демонстрация VMB и шкафов для специальных газов технологии

Wofly

Являясь «конечным узлом» электронных систем специальных газов, VMB для силанов является критически важным компонентом, обеспечивающим безопасную, стабильную и высокочистую подачу газа на производственные линии. Wofly Technology будет продолжать уделять приоритетное внимание технологиям, итеративно оптимизируя свои продукты для различных условий эксплуатации специальных газов высокого риска, чтобы предоставлять высокотехнологичной обрабатывающей промышленности более надежные и адаптированные решения для систем специальных газов.