Wofly Technology поддерживает сквозное сотрудничество по всей цепочке исследований и разработок и производства материалов благодаря своим комплексным решениям для систем специальных газов

Специальные газы закладывают основу; Ядро и Цепочка движутся вперед вместе

С 9 по 11 сентября 2026 года во Всемирном выставочном и конференц-центре Шэньчжэня (Баоань) прошла Международная выставка инноваций в области интегральных схем IICIE. В рамках темы «Межотраслевая интеграция · Сотрудничество по всей цепочке: совместное создание уникальной экосистемы чипов» мероприятие охватило всю цепочку поставок, включая проектирование чипов, изготовление пластин, упаковку и тестирование, основное оборудование и ключевые материалы. Полупроводниковые материалы занимают верхний сегмент отраслевой цепочки. Специальные электронные газы, фоторезисты, мишени для распыления и материалы CMP напрямую определяют производительность устройства и технологические узлы; их чистота, стабильность и надежность поставок являются предпосылками для прорыва в передовых процессах.

Международная выставка инноваций в области интегральных схем IICIE 2026

В этом году IICIE объединяет IDM, компании, не имеющие собственных производственных мощностей, предприятия по производству пластин, OSAT и производителей полупроводникового оборудования и материалов. На выставочной площади, превышающей 60 000 квадратных метров, на мероприятии демонстрируются комплексные решения для продуктов, охватывающие разработку чипов, производство пластин, передовую упаковку и тестирование, основное оборудование, а также ключевые материалы и компоненты. Мероприятие, проводимое одновременно с Китайской международной выставкой оптоэлектроники CIOE, создает экосистему супервыставок «оптоэлектроника + полупроводники», привлекая профессиональных посетителей из секторов последующих приложений, включая искусственный интеллект, автомобильную электронику, связь и вычисления, дисплеи и новую энергетику, для создания сетей и изучения бизнес-возможностей. На двойном фоне изменений во внешней технологической среде и спроса на внутреннюю замену IICIE предоставляет универсальную платформу для полупроводниковых материалов, оборудования и компонентов отечественного производства, охватывающую все: от технической проверки и согласования цепочки поставок до внедрения приложений. Содействуя углубленному сотрудничеству между компаниями, занимающимися добычей материалов, производителями среднего звена и конечными пользователями, это мероприятие играет знаковую роль в стабилизации отечественной цепочки производства интегральных схем и цепочки поставок, а также ускорении проверки массового производства и развития экосистемы ключевых материалов.

1. Специальная транспортировка газа: Wofly берет на себя инициативу

Исследования и разработки полупроводниковых материалов

В области исследований и разработок материалов и массового производства специальные газы, используемые в электронной промышленности, такие как силан (SiH₄), фосфин (PH₃), арсин (AsH₃), аммиак (NH₃) и трифторид азота (NF₃), являются высокотоксичными, легковоспламеняющимися и очень коррозионными. Они должны доставляться безопасно, непрерывно и с высокой чистотой от источника газа до конца процесса через специальные системы подачи газа. Как национальное высокотехнологичное предприятие, Shenzhen Wofly Technology позиционирует себя как универсального поставщика решений для проектирования систем применения газа, предлагая профессиональные услуги и высококачественное оборудование для сектора производства полупроводниковых материалов.

2. Проектирование и реализация: единый комплексный процесс

Специальная газотранспортная трубопроводная система

Технический консалтинг, системное проектирование

От списков технологических газов, точечных нагрузок потребления газа и зон безопасности до топологий трубопроводов — WoFei Technology обеспечивает комплексное планирование и проектирование систем, предоставляя диаграммы ФИД, спецификации материалов и спецификации строительства чистых помещений для многосредовых систем, включающих объемные газы, специальные газы для электронной промышленности и химикаты высокой чистоты.

Газопроводы

Специальный газовый шкаф в сборе — автоматическое переключение

Наш независимо разработанный полностью автоматический шкаф для специальных газов оснащен ПЛК в качестве ядра управления и сенсорным экраном HMI, обеспечивающим автоматическое переключение между двумя баллонами, мониторинг давления, сигнализацию об утечках и аварийное отключение. Он предназначен для герметичной транспортировки легковоспламеняющихся, взрывоопасных и высокотоксичных газов, таких как силан (SiH₄) и фосфин (PH₃).

Специальные газовые шкафы производства Wofly Technology

Клапаны и фитинги: контроль высокой чистоты

Корпуса клапанов, оснащенные высокочистыми компонентами управления, такими как редукционные клапаны серии WR1200 и мембранные клапаны серии MV4/MVH4, изготовлены из нержавеющей стали 316L с электролитически полированными внутренними поверхностями. В сочетании с фитингами VCR и фитингами с обжимными кольцами эти компоненты сводят к минимуму уровень твердых частиц и выщелачивание металла, что соответствует технологическим требованиям.

Клапаны и фитинги Wofly Technology

Предварительное изготовление труб, вторичные трубопроводы

Трубопроводы на месте разрезаются, автоматически свариваются и продуваются в чистом цехе заводского изготовления, а затем перенаправляются к интерфейсам технологического оборудования с помощью сварки на рельсах. Записи о прослеживаемости сварных швов трубопроводов поддаются проверке и соответствуют стандартам SEMI по чистоте газа и контролю твердых частиц.

Чистые помещения класса 1000 от Wofly Technology

Очистка выхлопных газов: очистка на месте

Для устранения таких компонентов, как SiH₄, PH₃ и AsH₃, которые не полностью прореагировали в технологических выхлопных газах, была установлена ​​система очистки выхлопных газов Local Scrubber. Эта система использует сжигание, очистку или адсорбцию для разложения вредных компонентов до уровней, соответствующих стандартам выбросов перед сбросом, обеспечивая безопасность персонала и окружающей среды.

Оборудование для очистки выхлопных газов

Смешение газов, распределение клапанов

Для исследований и разработок полупроводниковых материалов мы поставляем газовые смесители и клапанные блоки (VMB): смесители точно смешивают газы-носители, такие как N₂, Ar и H₂, с реакционными газами в соответствии с технологическими рецептами; Манифольды клапанов обеспечивают независимое управление, мониторинг давления и аварийное отключение нескольких выпусков газа во вторичной секции трубопровода.

Дисплей панели клапанной коробки VMB

Монтаж и пуско-наладка; Тестирование системы

После завершения установки на месте компания WoFei Technology провела испытание на утечку гелия, измерение размера частиц, анализ содержания влаги и кислорода, а также продувку и замену, подготовила отчет о проверке системы, завершила передачу «под ключ» и обеспечила последующую эксплуатацию и поддержку по техническому обслуживанию.

3. Строим будущее вместе, рука об руку

Вофли Технология

Конкуренция в индустрии полупроводниковых материалов в конечном итоге сводится к надежности каждой поставки газа, каждого трубопровода и каждой операции клапана. «Сотрудничество по всей цепочке» — это не просто тема торговой выставки; это требует, чтобы производители исходных материалов, поставщики оборудования для промежуточной переработки и поставщики инженерных услуг для последующей переработки постоянно согласовывали стандарты, интерфейсы и требования к процессам. Shenzhen WoFei Technology продолжит концентрироваться на разработке систем подачи газа. Используя свои универсальные возможности в проектировании систем, базовом оборудовании, установке на месте, а также тестировании, вводе в эксплуатацию и обслуживании, компания обеспечит безопасную, стабильную и отслеживаемую основу для доставки газа для исследований, разработок и массового производства полупроводниковых материалов, работая со всеми участниками отраслевой цепочки для совместного создания уникальной полупроводниковой экосистемы.