Высокочистая технология трубопровода для газа важная часть высокочистой системы газообеспечения, которая ключевая технология для того чтобы поставить необходимый высокочистый газ к пункту пользы и все еще поддержать квалифицированное качество; Высокочистая технология трубопровода для газа включает правильный дизайн системы, выбор штуцеров и аксессуаров, конструкцию и установку, и испытание. В последние годы, все больше и больше строгие требования на очищенности и содержание примеси высокочистых газов в продукции продуктов микроэлектроники представленных широкомасштабными интегральными схемаами делали пронзительную технологию высокочистых газов все больше и больше относились и подчеркивались. Последователи краткий обзор высокочистого трубопровода для газа от материального выбора конструкции, так же, как управления принятия и ежедневных.
Типы общих газов
Классификация общих газов в электронной промышленности:
Общие газы (оптовый газ): водопод (H2), азот (N2), кислород (O2ий), аргон (A2), etc.
Газы специальности SiH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR SF6 ...... etc.
Типы особенных газов можно вообще классифицировать как коррозионный газ, токсический газ, огнеопасный газ, горючий газ, инертный газ, etc. обыкновенно используемые газы полупроводника вообще расклассифицированы следующим образом.
(I) въедливый/токсический газ: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) газ воспламеняемости: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO… etc.
(III) газ сгораемости: O2ий, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) инертный газ: N2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, СО2, Ne, Kr, он… etc.
Много газов полупроводника вредны к человеческому телу. В частности, некоторые из этих газов, как самопроизвольно сгорание SiH4, покуда утечка прореагирует жестоко с кислородом в воздухе и начнет гореть; и AsH3 сильно токсическое, любая небольшая утечка может причинить риск человеческой жизни, оно из-за этих очевидных опасностей, поэтому требования для безопасности системного проектирования особенно высоки.
Объем применения газов
Как важное основное сырье современной индустрии, продукты газа широко использованы, и большое количество общих газов или особенных газы использованы в металлургии, стали, нефти, химической промышленности, машинном оборудовании, электронике, стекле, керамике, строительных материалах, конструкции, пищевой промышленности, медицине и медицинских участках. Применение газа имеет важный удар по высокой технологии этих полей в частности, и свой непременный газ сырья или отростчатый газ. Только с потребностями и продвижением различных новых промышленных секторов и современной науки и техники, продукты газовой промышленности можно начать очень быстро по отоношению к разнообразию, качеству и количеству.
Применение газа в индустрии микроэлектроники и полупроводника
Польза газа всегда играла важную роль в процессе полупроводника, особенно процесс полупроводника широко была использована в различных индустриях, от традиционного ULSI, TFT-LCD к настоящей микро-electro-механической индустрии (MEMS), которые используют так называемый процесс полупроводника как процесс производства продуктов. Очищенность газа имеет решительный удар по представлению компонентов и выходов продукта, и безопасность поставки газа связана со здоровьем персонала и безопасностью работ завода.
Значительность высокочистого тубопровода в высокочистом переходе газа
В процессе нержавеющей стали плавить и делать материал, о 200g газа можно поглотить в тонну. После обработки нержавеющей стали, не только своя поверхность липкая с различными загрязняющими елементами, но также в своей решетке металла также поглотила некоторое количество газа. Когда воздушный поток через трубопровод, металл поглощает эту часть газа reenter воздушный поток, загрязняя чистый газ. Когда воздушный поток в трубке разрывное течение, трубка адсорбирует газ под давлением, и когда воздушный поток останавливает пройти, газ адсорбированный формами трубки падение давления разрешить, и разрешенный газ также входит в чистый газ в
Обобщенное представление экологически чистых технологий для трубопроводов передачи и распределения
Сильно чистая и чистая передача тела газа с пускать середины по трубам что некоторые требования или контроли для 3 аспектов газа быть транспортированным.
Очищенность газа: Содержание атмосферы примеси в очищенности gGas: Содержание атмосферы примеси в газе, обычно выражало через процент очищенность газа, как 99,9999%, также выражало через коэффициент тома содержания ppm атмосферы примеси, ppb, ppt.
Засохлость: количество влаги трассировки в газе, или количество вызвали влажность, обычно выражаемую по отоношению к пункту росы, как пункт росы -70 атмосферного давления. C.
Чистота: число частиц загрязняющего елемента, который содержат в газе, размере частицы µm, сколько particles/M3, который нужно выразить, для обжатого воздуха, обычно также выраженный по отоношению к сколько mg/m3 неизбежных твердых выпарок, который покрывает содержание масла.
Классификация размера поллютанта: частицы поллютанта, главным образом ссылаются для того чтобы прокладывать трубопровод соскабливать, носка, корозия произведенная частицами металла, атмосферическими частицами сажи, так же, как разделяют микроорганизмы, бактериофаги и влагосодержащие капельки конденсации газа, etc., согласно размеру своего размера частицы в
) большие частицы - размер частицы над 5μm
b) Частица - материальный диаметр между 0.1μm-5μm
c) Ультра-микро- частицы - размер частицы более менее чем 0.1μm.
Увеличивает применение этой технологии, мочь к перцепционному пониманию блоков размера и μm частицы, набор специфического состояния частицы обеспечены, что для ссылки
Последователи сравнение специфических частиц
Μm размера частицы имени размера /Particle имени размера /Particle имени (µm) (µm)
Аэрозоль вируса 0.003-0.0 0.03-1 Aerosolized microdroplet 1-12
Пепел 1-200 краски 0.1-6 ядерного топлив 0.01-0.1
Пестицид 5-10 сухого молока 0.1-10 сажи 0.01-0.3
Бактерии смолы 0.01-1 0.3-30 пыли 5-100 цемента
Дым сигареты 0.01-1 пыли песка 0.5-5 цветня 10-15
Человеческие волосы 50-120 пестицида 0.5-10 силикона 0.02-0.1
Выкристаллизовыванный песок 100-1200 моря пыли 1-11 серы соли 0.03-0.5 сконцентрированный