По мере роста рынка полупроводников стандарты чистоты и точности становятся все более строгими.Одним из определяющих факторов качества производства полупроводников являются газы, используемые в процессе.Эти газы играют множество ролей в производственном процессе, в том числе:
Точное управление процессом
Предотвращение загрязнения
Улучшение металлургических свойств
Для эффективного выполнения этих функций система поставок и распределения газа должна быть эффективной.Проектирование систем обработки газа, используемых в производстве полупроводников, должно поддерживаться надежными компонентами и индивидуальными сборками для обеспечения надежного и высококачественного производства полупроводников..
Газы, используемые в производстве полупроводников
Процесс производства полупроводников требует использования различных газов на разных этапах процесса.
В то время как обычные газы, такие как азот, водород, аргон и гелий, могут использоваться в чистом виде, для некоторых процессов могут потребоваться специализированные смеси.Галлоиды и углеводороды являются некоторыми из специальных газов, используемых в производстве полупроводниковМногие из этих газов могут быть опасными или очень реактивными, что создает проблемы при выборе и проектировании компонентов для газовых систем.
Вот несколько примеров:
Водород и гелий могут легко протекать из трубопроводов и фитинговых систем из-за их небольшого атомного размера и веса.
Силаны очень легковоспламеняющиеся и могут самопроизвольно сгорать (автозажигаться) в воздухе.
Дифторид азота, используемый в стадиях осаждения, гравировки и очистки камеры, становится мощным парниковым газом при утечке в окружающую среду.
Фторид водорода (газ для гравирования) сильно коррозионно влияет на металлические трубы.
С триметилгаллием и аммиаком трудно справляться - небольшие колебания температуры и давления могут повлиять на процесс осаждения.
Контроль условий процесса для минимизации негативного воздействия этих газов должен быть приоритетом при проектировании системы.Не менее важно использовать высококачественные компоненты, такие как диафрагменные клапаны AFK во время процесса изготовления.
Решение задач по проектированию систем
Газы полупроводникового класса в большинстве случаев имеют высокую чистоту и обеспечивают инертные условия или усиливают реакции на разных этапах производственного процесса, такие как газы нарезки и осаждения.Утечка или загрязнение таких газов может иметь негативные последствияПоэтому, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Кроме того, некоторые из этих газов можно нагревать или охлаждать для достижения желаемых условий процесса.что имеет решающее значение для эффективной работы конечного продукта.
От источника до точки использования, широкий спектр компонентов AFK поддерживает сверхвысокую чистоту, температуру,Контроль давления и потока, требуемый в полупроводниковых чистых помещениях и вакуумных камерах.
Проектированные системы с качественными компонентами в полупроводниковых фабриках
Роль качественных компонентов и оптимизации конструкции имеет решающее значение для точного контроля и безопасного производства полупроводников.Используемые компоненты должны быть прочными и без утечек, чтобы соответствовать различным условиям процесса, требуемым на разных этапах производстваВысококачественные клапаны, фитинги, регулировщики, трубопроводы и уплотнители AFK отличаются следующими характеристиками:
Сверхвысокая чистота
Прозрачные уплотнители
Терморегулируемая изоляция
Контроль давления
Устойчивость к коррозии
Обработка электролитической полировкой