Использование газов в полупроводниковой промышленности восходит к началу 1950-х и 1960-х годов.Газы в основном используются для очистки и защиты полупроводниковых материалов для обеспечения их чистоты и качества.Среди наиболее часто используемых газов - азот и водород.
По мере развития технологии полупроводников и улучшения производственных процессов спрос на газы увеличивался.применение газов в ключевых процессах, таких как гравирование и осаждение тонких пленок, постепенно увеличивалось, и фторидные газы (например, SF6) и кислород стали широко используемыми газами для офорта и осаждения.В 1980 г. спрос на газы увеличился с развитием интегральных схем и увеличением спроса на них.Водород широко использовался в производственных процессах, включая отжигание водорода и отложение водородных паров.спрос на высокочистые газы и специфические газы увеличился по мере сокращения размеров полупроводниковых устройств и внедрения новых процессовНапример, применение экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV) требует использования чрезвычайно высокочистых газов, таких как азот и водород.
Полупроводниковый газ продолжает увеличиваться с развитием связанных с ним продуктов, задействованных все больше и больше продуктов, выявленных, в то время как газ также относится к источнику опасности,так что продукты, используемые для газового декомпрессии, газовые детекторы и предотвращение утечки газа, такие как регуляторы давления, газовые клапаны, газовые датчики давления, детекторы утечки газа и т. д., и их функции следующие:
Регуляторы давления: Регуляторы давления - это устройства, используемые для контроля давления газа.Регуляторы давления принимают высокое давление газа и стабилизируют давление выходного газа путем регулирования клапана для удовлетворения конкретных требований приложенияРегуляторы давления широко используются в таких областях, как промышленность, производство и лаборатории, а также в полупроводниковой промышленности, среди прочих,обеспечить стабильность и безопасность газоснабжения.
Газовые клапаны:Газовые клапаны используются для управления потоком газов и закрытия газовых проходов.включая ручные клапаныОни широко используются в газовых системах для контроля потока, давления и скорости потока газов.
Газовые датчики:Газовые датчики используются для измерения уровня давления газа.Они обычно устанавливаются в критических местах в газовых системах для мониторинга изменений давления и обеспечения того, чтобы они находились в пределах безопасности.Газовые датчики широко используются в промышленности, производстве и лабораториях, а также в полупроводниковой промышленности.
Детекторы утечек газа:Для обнаружения утечек в газовых системах используются детекторы утечек газа, которые обнаруживают наличие утечек газа и подают сигнал тревоги, чтобы своевременно принять меры по предотвращению утечек.Детекторы утечек газа широко используются в промышленности, химических, нефтегазовых и газовых применений, а также полупроводниковой промышленности.