Новости о компании Системы заполнения газа: функции, классификация и основное оборудование
В полупроводниках, литийных батареях и оптоэлектронных дисплеях стабильное снабжение специальными газами является основой непрерывного производства.Система заполнения газа ∙ критический узел между источником газа и точкой использования ∙ напрямую определяет безопасность, непрерывность и чистота.
Система наполнения газом заряжает промышленные газы в цилиндры или контейнеры при заданном давлении, температуре и чистоте.
| Требование | Описание |
| Безопасность | Строгий контроль давления и температуры; предотвращение переполнения и неправильного заполнения |
| Обеспечение чистоты | Устранение проникновения примесей на протяжении всего цикла наполнения |
| Точное измерение | Точное количество наполнения по весу или объему, согласно национальным стандартам |
| Непрерывная работа | Многоцилиндровое заполнение партий высокой пропускной способности |
На основеGB16163-1996, промышленные газы классифицируются по физическому состоянию и химическим свойствам.
Газы оптом √ обычные газы большого объема (O2, N2, Ar, H2, CO2, C2H2):
| Категория | Критическая температура | Государство |
| Постоянные газы | < -10°C | Газообразные |
| Сжиженный под высоким давлением | -10°C до 70°C | Жидкость, испаряется выше критической температуры |
| Растворенный ацетилен | — | Растворяется в растворителе под давлением |
![]()
Специальные газы- высокочистые, малообъемные газы для электроники и специальных химических веществ:
Сжиженные под высоким давлением:
Сжиженные под низким давлением (> 70°C):
| # | Модуль | Функция |
| 1 | Регламент о источниках газа | Ввод, регулировка давления, стабилизация выхода |
| 2 | Заполнительная стойка и коробка | Ядро многоцилиндрового параллельного заполнения |
| 3 | Измерение и управление | Мониторинг веса/давления, автоматические клапаны, блокировки безопасности |
| 4 | Защита безопасности | Уменьшение давления, аварийное отключение, обнаружение утечки |
| 5 | Очистка и фильтрация | Очистка газа перед заполнением |
| 6 | Обработка отстойных газов | Восстановление или безвредная утилизация остаточного газа |
Зарядное множествоЦентральный блок выполнения. электрополированная нержавеющая сталь EP-класса с разветвленными клапанами и специальными соединителями позволяет одновременно заполнять многоцилиндровые партии.кислород, водород, аргон и специальные газовые варианты используют соответствующие материалы и уплотнения.
![]()
Система газового манифолтаСоединяет несколько цилиндровых групп с первичным/вторичным снижением давления, обеспечивая бесперебойное снабжение через автоматическое переключение банков.
![]()
Группа клапанов регулирования давленияДля специальных газовРедукторы диафрагмы обязательны.: запечатанные диафрагмой камеры устраняют внутреннее загрязнение, сохраняя чистоту на уровне ppb, критически важную для применений полупроводников.
![]()